(1)进口半导体参数分析仪1台(预算73万),主要技术要求:1、直流IV测试单元(需要三套)1.1中功率源测量单元:(每个模块同时满足):1.1.1电流源输出电流/分辨率;测试范围/分辨率/偏置电流;最小 100nA/5pA;100nA(量程)/50fA/30pA;最大100mA/5μA;100mA(量程)/50nA/3μA。1.1.2电压源输出电压/分辨率;测试范围/分辨率/偏置电压:最小200mV/5μV;200mV(量程)/0.2μV/100μV;最大200V/5mV;200V(量程)/200μV/3mV。1.2前置放大单元(直流源测量单元) (需要三套);电流源输出电流/分辨率;测试范围/分辨率/偏置电流:最小1pA/1.5fA ;1pA(量程)/0.01fA/10fA;前置放大单元为源测量单元附件,电压参数与所在模块相同。 2、CV测试单元:2.1不同频率下C-V测试, 频率范围1K-10MHz;2.2可测量Cp-G, Cp-D, Cs-D, R-jX, Z-theta等参数;2.3测试信号电平10mV rms–100mV rms,分辨率1mV;2.4直流偏置电压范围:±30V;差分模式最大±60V。 3、主机计算机配置:3.1可触屏操作。3.2 CPU主频>2GHz,硬盘容量>120GB 3个以上USB接口,内置100/10 MB以太网络接口,14英寸以上液晶显示器。 4、系统软件功能:4.1 Windows7操作系统图形化界面, 全集成化无需编制程序;4.2标准半导体器件参数测试库4.3纳米器件参数测试库;4.4 WLR可靠性参数测试库;4.5半导体CV参数分析库;4.6提供四探针法测电阻率方案及硬件。 (2)进口真空探针台1台(预算50万),主要技术要求:1、探针台主机(原厂进口),包含真空腔、防辐射屏,可视窗口、真空接口、氮气清洗接口、泄压阀等;四个直流探针臂,兼容50MHz以内射频测试。样品台安装校准的温度传感器和加热器、防辐射屏安装温度传感器和大功率加热器(不小于100W,快速回温),探针臂要求安装一个传感器;标配接地样品座一个;低漂移探针两个、普通探针六个。 2、真空指标:基础温度:<5 × 10-5 Torr;最高温度:<5 × 10-5 Torr; 3、温度范围:4.5K-475K(液氦);控温稳定性:液氦温度稳定性优于±100mK;循环时间小于2.5小时,降温时间小于1小时; 4、探针臂可移动距离X方向≥50mm,Y方向≥25mm,Z方向≥17mm;直流探针需要Guard保护结构设计,进行微弱电信号测量时减少漏电流。由于落针对样品的温度影响巨大,要求探针能在样品座上做热沉;连续测量配备低漂移探针需要能抵消热胀冷缩导致的物理形变,能满足在100K的温度变化范围内无需起落针。以上所有指标均需提供原厂公开发行资料,或原厂技术文件说明。 5、根据实际样品不同需要两种光源,分别为环形光和同轴光。两种照明灯可在漫反射和镜面反射的样品下自由切换; 6、光学显微系统,包含显微镜,CCD相机,监视器、光源、支架等;兼容液氮或液氦的传输管线;真空泵一套,液氮杜瓦一套。 (3)光谱测试系统1台(预算75),主要技术要求:1、iHR320光谱仪;焦长:320mm;相对孔径:f/4.1;光谱分辨率:0.06nm (with 1200g/mm grating, 10um slit and PMT);0.18nm (with 1200g/mm grating, 10um slit with 26um pixel CCD);光栅面积:68mm x 68mm;光栅塔轮上光栅数:最多可同时放置3块, 光栅座为即插即用型;光栅转动方式:专利的光栅在轴扫描技术(以光栅前表面为中心轴旋转扫描以保证恒定和准确的光照射与聚焦,专利号# 5,767,965“衍射光栅转动的方法及其设备”);焦平面影像尺寸:30 x 12mm ;采用超环面镜纠正散光优化成像质量;超环面聚焦镜比准直镜尺寸更大,焦平面边缘无光通量损失,使整个平场范围内无暗角;电动狭缝:以2um为步进,0-2mm可调;杂散光抑制比:1.5 x 10-4。 2、325nm激光器IK3201R-F:He-Cd Laser , 325nm;输出功率:25mw, 光学质量:TEMoo. 3、 可调单色光源:450W 氙灯及反射耦合灯室;软件控制单色仪输出单色光源。 4、PMT和IGA近红外探测器;PMT种类: R928;PMT光谱范围:200nm-860nm;组合式R928 PMT,非制冷探测器外罩并集成了高压电源。IGA液氮冷冻探测器,液氮杜瓦耦合,冷冻温度小于-110℃。IGA光谱范围800-1600nm。 (4)、不锈钢台1台(预算2万),主要技术要求:1、仪器专用不锈钢台面一个,三围尺寸不小于1.8m×1.5m×0.8m。 2、台面布螺纹孔径为M6标准孔,螺孔阵距25mm×25mm间隔分布。 3、台面板厚度:6mm厚1Cr17优质高导磁不锈钢;底板:4-6mm碳钢板,底面板双层防锈处理;台面平整度0.05mm/m3;表面粗糙度<0.8微米。 4、台体内状结构:蜂窝状钢质结构;固有频率:垂直3~6Hz水平3~6Hz;负载重量2000 kg。 5、台体支撑系统:内置4点阻尼隔振装置支撑系统,高分子复合橡胶垫提供对高频振动的隔振;阻尼隔振支架。 |